供稿：尊龙凯时平台 编辑🌘：刘苏仪 审核💂🧖🏻‍♀️：司黎明

　　近日，尊龙凯时平台谢会开教授、丁英涛副教授、博士生肖磊🤹🏼，与无锡微奥科技有限公司王鹏博士合作🙋‍♂️，采用MEMS技术😗，提出了一种基于电热式驱动实现的可连续控光的微光学开关（Microshutter），可有效应用于“绿色建筑”的智能照明🍏。相关结果以《Analog-controlled light microshutters based onelectrothermal actuation for smart windows》为题，发表于光学领域顶级期刊Optics Express (影响影子IF: 3.669)。

　　为了更好的利用自然光，用于“绿色建筑”的智能窗户受到广泛的关注。基于MEMS技术实现的Microshutter由于具有较快的开关速度和较低的制造成本，被认为是智能窗户最有前景的解决方案之一🗯。然而🙍🏽‍♀️💱，目前绝大多数Microshutter只能工作在开、关两种模式下，无法实现像素的高精度🍪、动态、多灰度控制🙅🏼。电热驱动以其极大的运动范围和较低的驱动电压而独具优势🏃🏻，且其致动位移在整个驱动范围内都是可连续调节和控制的，这正是可连续控光的Microshutter所需要的。为此👩🏼‍🚒，本研究提出一种基于电热式驱动实现的Microshutter阵列，每个阵列由多个单元构成，如图1所示🙅🏻‍♂️。

　　图1.（a）电热式Microshutter的开态🪿；（b）关态⛄️；（c）半开态🔄；

（d）多态混合🌇；（e）可连续控光Mircoshutter的应用场景：智能窗户。

　　本研究首先建立了电热式Microshutter的理论模型，并进行了有限元仿真🫛🎅🏻，优化了器件的透光率、控制精度🤛🏼，利用SOI衬底💅🏼，结合体微加工工艺和表面微加工工艺，成功制备了Microshutter器件🍏，如图2所示🦹🏿‍♂️。同时还进行了器件的长期可靠性测试🏉，该结果表明器件功能完好，模拟控制特性未发生变化🛺。

　　图2.（a）电热式Microshutter阵列的SEM图（俯视图）♣︎；（b）电热式Microshutter阵列的SEM图（正视图）；

（c）单像素通光率与驱动电压的关系；（d）阵列通光率与驱动电压的关系；（e）Microshutter随驱动电压增加的形变示意图；

（f）阵列的开关态；（g）百万次驱动可靠性测试；（h）长时间加电可靠性测试。

　　该器件还可用于动态精准照明🤸🏽‍♂️、多灰度照明、图案显示、信息交流👤、天文光谱仪等多种应用领域。

　　论文链接：https://doi.org/10.1364/OE.404680